烘干設備應用中常常遇到一種情況，對于一些熱敏性材料或是高溫狀態下容易引起形變、質變或化學反應的產品，在物料的加工環節都不能授與高溫，必須在低溫狀態下完成。在烘干時也需要在低溫狀態下完成。
微波加熱均勻，起熱快得到大家的廣泛應用，特別是在中溫烘干階段，由于烘干溫度較低所以不但節能而且烘干效率還很高。但在應用上，對于一些要求烘干溫度在60度以下的物料，需要對物料進行詳細的分析實驗之后才能決定是否能采用微波烘干設備，包括物料的外形尺寸，物料的導熱性，物料的密等進行了解。比如，如果想低溫（50度）烘干橡膠產品，由于橡膠的水分蒸發性能差，不分不容易出來，所以在常溫常壓下烘干是很難的。再比如要烘干低溫烘干木材，由于木材有一定的厚度，烘干時由于內部的溫度往往會比外部稍高，內部溫度不容易探測和控制，所以常溫常壓狀態下烘干較難。
針對以上介紹的情況，我們可以采用除低烘干壓力的方法，讓低溫烘干時的水分蒸發效率提高。也就是采用真空技術配合微波技術制造的低溫微波真空干燥設備，這種低溫烘干設備可應用在中藥浸膏、高硬度木材等產品，既能采用微波的快速加熱，均勻烘干，又能低溫烘干，保證熱敏性物料的烘干質量。
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